inficon檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理，以氦氣作為檢漏儀器。質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計(jì)、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振蕩，與室內(nèi)氣體碰撞，氦氣泄漏進(jìn)入室內(nèi)，電離成正離子，正離子在加速電場(chǎng)的作用下進(jìn)入人體磁場(chǎng)，當(dāng)洛倫茲力效應(yīng)偏轉(zhuǎn)時(shí)，電弧形成，加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收槽到達(dá)接收極而被探測(cè)到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。
inficon檢漏儀的主要性能指標(biāo)：
1.較小檢漏率：即氦質(zhì)譜檢漏器能檢測(cè)到的較小泄漏率。
2.響應(yīng)清除時(shí)間：當(dāng)一定流量的勘探氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時(shí)間，漏率指示器可以達(dá)到較大值，漏率指示器不能立即恢復(fù)到零，需要一定時(shí)間下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除時(shí)間略長于響應(yīng)時(shí)間。
3.啟動(dòng)時(shí)間：氦質(zhì)譜泄漏探測(cè)器開啟電源和能夠探測(cè)到泄漏之間的時(shí)間。
inficon檢漏儀使用前注意事項(xiàng)：
每次使用之前能在氣相分流口或其它氫氣或氦氣氣源對(duì)檢漏儀進(jìn)行測(cè)試驗(yàn)證?；蛘撸庋蹤z視一下探針頭、參考?xì)怏w入口和排氣口是否有堵塞。
重要提示：一定要使用潔凈、干燥的氣體對(duì)檢漏儀進(jìn)行測(cè)試操作。檢漏液、灰塵和其它的雜質(zhì)進(jìn)入探頭都可能會(huì)損壞檢漏儀。
檢漏儀對(duì)任何可聞或不可聞的氣體都有反應(yīng)，而且靈敏度高，因此在使用過程中要注意溶劑蒸汽、分流口氣體甚至是強(qiáng)空氣流對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響。請(qǐng)注意操作時(shí)不要對(duì)著參考?xì)馊肟谔幒粑蛘呤种覆灰采w/堵塞參考?xì)馊肟凇?/div>
